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저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
1,934 - 1,938 (5page)

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Formation of air bubble is the one of common defects in UV nano imprint lithography. Location of dispensing and volume of droplets are among the most important parameters in the process. In this study, UV curable resin droplets with different volumes were dispensed at different locations and pressed to investigate air bubble formation. By varying volume of droplet and dispensing location, process conditions were found for minimum air bubble area.
#nanoimprint lithography(나노임프린트) #air bubble(공기방울) #dispensing(디스펜징) #coalescence(병합) #critical distance(임계거리) #centroid(도심)

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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