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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
585 - 589 (5page)

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This study is performed to analyze the fluid flow about 150mm shower heads of semiconductor device. Under the air pressure, the ideal gas of moving fluid is injected as 5㎧ velocity into inlet of shower heads and the flow distribution in shower heads is measured according to pitch of plasma distribution device. As results, the maximum and minimum value of fluid velocity are investigated with their position. The velocity values at outlet are also studied. From two experiment using the plasma distribution device, the results of CFD are compared with the experimental results. That results shows stable flow of fluid in that case of corrected design from CFD.
#CFD flow analysis(CFD 유동해석) #150㎜ shower heads(150㎜ 샤워헤드) #plasma distribution device(플라즈마 분배장치)

목차

Abstract
1. 서론
2. 설계 및 모델링
3. 유동해석
4. 결론
후기
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