Cathodic Arc Plasma Deposition법을 이용한 Ti(C,N)박막의 합성과 내마모특성에 관한 연구

남경훈; 이호신; 송건; 한전건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 남경훈 이호신 송건 한전건

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1995년도 추계 학술발표회 초록집

발행연도: 1995.10

수록면: 17 - 17 (1page)

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