스퍼터링 방법에 의한 Ti중간층 코팅이 TiN 코팅의 밀착력에 미치는 영향

김용환; 우치구; 김선효; 이상로; 이건환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김용환 우치구 김선효 이상로 이건환

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1991년도 춘계 학술강연 및 연구발표회 강연 및 발표 초록집

발행연도: 1991.5

수록면: 41 - 41 (1page)

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김용환

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우치구

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이건환

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