Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

PECVD 실리콘질화막에 대한 이온빔 방사효과

이상환 ,  이중환 ,  서경수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

60㎒ PECVD법에 의한 μc-Si:H 박막의 저온증착 및 태양전지 응용

이정철 ,  정연식 ,  김석기 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Multi-Step 스퍼터링 PECVD에 의한 실리콘 산화막의 특성에 관한 연구

박민 ,  이중환 ,  이상환 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

열처리 조건이 PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 박막 특성에 미치는 영향

백용구 ,  박영진 ,  김종철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Modeling the Properties of the PECVD Silicon Dioxide Films Using Polynomial Neural Networks

Seung-Soo Han ,  Kyung-Bin Song

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1998 .10

Modeling the Properties of PECVD Silicon Dioxide Films Using Polynomial Neural Networks

Younbum Ryu ,  Seungsoo Han ,  Sungkwun Oh 외 1명

한국지능시스템학회 학술발표 논문집

1996 .11

PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석

김용천 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .06

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .07

Low Temperature Atomic Layer Deposition of Silicon Oxide Films Using Silicon Amide Precursors

Sung-Joo Woo ,  Han-Gyul Lee ,  Luchana L. Yusup 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

ECR PECVD에 의한 상온 실리콘 질화막 형성 및 박막 트랜지스터에의 응용 ( Room Temperature Fabrication of Silicon Nitride Films by ECR PECVD and its Application to Thin Film Transistors )

전유찬 ,  이호영 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구

김문협 ,  송재진 ,  노재승 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

고 에너지 이온빔에 의한 PECVD 질화규소막 내의 수소 이탈현상에 관한 연구

이중환 ,  이상환 ,  박민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

PECVD 법으로 증착된 silicon oxynitride 의 물성 분석

조유정 ,  한길진 ,  김영철

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

PECVD산화막을 이용한 삼층금속배선공정에 관한 연구 ( The Study on the Triple-Level metallization process Using PECVD Oxide )

백종태 ,  허성익 ,  박영준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

PECVD를 이용한 MoS₂ 반도체 박막의 저온 합성 및 특성 파악

안치성 ,  이진환 ,  김형우 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04