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대한전자공학회 전자공학회논문지-TC 電子工學會論文誌 TC編 第45卷 第8號
발행연도
2008.8
수록면
114 - 120 (7page)

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본 논문에서는 단락 개방 Calibration (SOC) 방법을 이용하여 MIM 구조로 구성된 커패시터의 기생 소자 값들을 추출하였다. Strip line 으로 구성된 short, open, MIM 구조들의 산란 파라미터 행렬들은 전자기 시뮬레이터 및 벡터 네트웍 분석기를 이용하여 측정되었다. 전자기 시뮬레이션들은 3차원 구조 해석에 적합해왔던 유한 유소법 (FEM)을 이용하여 수행되었다. 적층구조 내부에 형성된 MIM 커패시터의 전자기 영향들은 집중 소자들로 구성된 Π 형 등가 회로로 제안되었고, 2 포트 네트웍해석을 수행함으로써, 측정된 산란 파라미터들과 등가회로 소자들 간의 관계를 보였다. 제안된 SOC 방법을 이용하여 추출된 집중 소자들은 주파수 독립적인 결과를 나타낸다.
#Short-Open Calibration #microwave passive element #multi-layer #MIM capacitor

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. SOC를 통한 DUT의 ABCD 추출 과정
Ⅲ. MIM 용량기의 소자 값 추출
Ⅳ. 결론
참고문헌
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