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Diaphragm compressors are used for a hydrogen compression because it can achieve high gas pressure with high purity. But diaphragm's lifetime may depend on the shape of the cavity and deflection from fluctuation the pressure change, which is necessary to monitored. In this study, the gas and hydraulic oil pressure in the cavity were measured as piston speed varies for diaphragm compressor. The results show pressure change quantities were reduced and maximum pressure points are delayed as the piston moves faster. And the hydraulic pressure were elevated as gas pressure elevated. And the compression period was more faster than expansion period.

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