햅틱인터페이스를 이용한 나노스케일 가상표면에서의 나노리소그래피

김성관

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김성관

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제39권 제2호

발행연도: 2006.4

수록면: 64 - 69 (6page)

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Nanoscale task such as nanolithography and nanoindenting is a challenging work that is beyond the capabilities of human sensing and precision. Since surface forces and intermolecular forces dominate over gravitational and other more intuitive forces of the macro world at the nanoscale, a user is not familiar with these novel nanoforce effects. In order to overcome this scaling barrier, haptic interfaces that consist of visual and force feedback at the macro world have been used with an Atomic Force Microscope (AFM) as a manipulator at the nanoscale. In this paper, a nanoscale virtual coupling (NSVC) concept is introduced and the relationship between performance and impedance scaling factors of velocity (or position) and force are explicitly represented. Experiments have been performed for nanoindenting and nanolithography with different materials in the nanoscale virtual surface. The interaction forces (non contact and contact nanoforces) between the AFM tip and the nano sample are transmitted to the operator through the haptic interface.

#Haptic interfaces #Nanorobotics #Nanolithography #Teleoperation control #Nanotechnology

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[학술지(정기간행물)] - / 2003 / IEEE/ASME Trans. on Mechatronics 8 (2)

[학술지(정기간행물)] - / 1995 / The nanoManipulator A teleoperator for manipulating materials at the nanometer scale : 579 ~ 586

[학술지(정기간행물)] - / 2000 / IEEE/ASME Trans. on Mechatronics 5 (2)

[학술지(정기간행물)] - / 2004 / Augmented Reality User Interface for Nanomanipulation using Atomic Force Microscopes

[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Telepresence at the Nano Scale: Augmented Reality Interface for Scanning Probe Microscopes

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