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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제32권 제4호
발행연도
2008.4
수록면
347 - 353 (7page)

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Reflected light can be decomposed into specular and diffuse components according to the light reflectance theory and experiments. The specular component appears in smooth surfaces mainly, while the diffuse one is visible in rough surfaces mostly. Therefore, each component can be used in forming their correlations to a surface roughness. However, they cannot represent the whole surface roughness seamlessly, because each formulation is merely validated in their available surface roughness regions. To solve this problem, new approaches to properly blend two light components in all regions are proposed in this paper. First is the weighting function method that a blending zone and rate can be flexibly adjusted, and second is the neural network method based on the learning from the measurement data. Simulations based on the light reflectance theory were conducted to examine its performance, and then experiments conducted to prove the enhancement of the measurement accuracy and reliability through the whole surface roughness regions.
#Micro surface roughness(미세 표면 거칠기) #Laser reflectance light(레이저 반사광) #Weighting function(가중 함수) #Neural network (신경 회로망)

목차

Abstract
1. 서론
2. 광 반사 모델 및 실험장치
3. 반사광 성분 분해
4. 블렌딩 알고리즘
5. 실험 결과 분석
6. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Satoru Takahashi / 2002 / Study on In-Process Measurement of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern (2nd Report) – Fast Defect Measurement Method Method Using LSDP / Japan Society of Precision Engineering 68 (7) : 1431 ~ 1435 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Hiroshi Harad / 2002 / Optical Sensing of Surface Roughness for Polishing Robot (3Rd Report) / Japan Society of Precision Engineering 68 (11) : 962 ~ 966 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 서영호 / 2004 / 경면 거칠기 측정을 위해 레이저 입사 강도 조정에 의한 정반사 광량 추정 알고리즘 개발 / 한국정밀공학회지 21 (6) : 94 ~ 101 dbpia 4. [단행본] - Beckmann, P. / 1963 / The Scattering of Electromagnetic Waves from Rough Surfaces / Pergamon press google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Nayar / 1991 / Surface Reflection: Physical and Geometrical Perspectives / IEEE Transactions on Pattern Analysis and Machine Intelligence 13 (7) : 611 ~ 634 google schola

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