메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.19 No.5
발행연도
2005.5
수록면
1,131 - 1,137 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Methods for measuring surface roughness based on light reflectivity have advantages over methods based on light interference or diffraction, especially in in-situ, on-the-machine and in-process applications. However, measurement inconsistencies caused by changes in the specimen are still a drawback for field applications. In this study, we propose a new feedback-based algorithm to enhance the consistency against changes in the specimen. The algorithm is deduced from simulations based on light reflectance theory with typical modeled surfaces. The proposed method is similar to a digital controller and regulates the power of reflected light. Experiments varying heights and materials, verified the improvements in robustness of the method against measurement disturbances caused by specimen changes.

목차

Abstract

1. Introduction

2. Light Reflectance and Roughness Parameterization for Modeled Specimens

3. Algorithm for Regulating Reflected Light Power

4. Experimental System‘s Set-up and Method

5. Experimental Results

6. Conclusions

References

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
Beckmann, P. and Spizzichino, A., 1963 "The Scattering of Electromagnetic Waves from Rough Surfaces," Pergamon Press, Oxford. google schola Dort, B. C. and Bishop, R. H., 1995, "Modern Control Systems 7th Edition,“ Addison Wesley. google schola Hiroshi HARADA, Hideki NAKAJIMA, Teruo YAMAGUCHI and Atsuhiko NODA, 2002, "Optical Sensing of Surface Roughness for Polishing Robot (3Rd Report)," Japan Society of Precision Engineering, Vol.68, No.11, pp.962~966. google schola Sang-Shin Park and Yoomin Ahn, 1997, "Surface Roughness and Material Removal Rate of Lapping Process on Ceramics," KSME International Journal, Vol.11. No.5, pp.494~504. google schola Satoru TAKAHASHI, Takashi MIYOSHI, Yasuhiro TAKAYA and Yasufumi TATSUNO, 2002, "Study on In-Process Measurment of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern (2nd Report)-Fast Defect Measurment Method Using LSDP," Japan Society of Prec google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-014587251