집속 이온빔에 의한 3차원 가공 시스템

박철우; 이종항

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박철우 이종항

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2004.4

수록면: 490 - 493 (4page)

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2004

집속이온빔(Focused Ion Beam)을 이용한 3차원 나노가공

박철우 , 이종항 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

집속 이온빔에 의한 3차원 가공 시스템

박철우 , 이종항 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2004.04 학술대회자료

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There is great difficulty in machine below 10 micrometers by conventional machining methods, such as micro-EDM. However, ultra micro machining using focused ion beam(FIB) is able to machine to 50 nanometers. Die & moulds techniques are better than one-to-one machining techniques in regards to production costs in the mass production of ultra size structures. Also, it is advantageous to machine die & moulds to the 10 micrometers level by FIB technique rather than other techniques. It is difficult to machine the three dimensional machining, such as micro lens, using FIB system because of their machining characteristics.
In this paper, three dimensional machining techniques were properly introduced, and also experiment showed effectiveness of their techniques.

#Focused Ion Beam #3-Dimensional Machining #Machining Characteristics #Dwell Time #Overlapping #Micro Lens

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