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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
백승엽 (인덕대학교) 장성민 (조선이공대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.31 No.3
발행연도
2014.3
수록면
207 - 213 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

집속이온빔을 적용한 나노스케일 단결정 다이아몬드 공구 형상제작 및 백금 코팅 형상에 관한 연구
백승엽 ,  이광호 ,  윤태현 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.05 학술대회자료

2014

집속이온빔(Focused Ion Beam)에 의한 단결정 다이아몬드 공구의 마이크로/나노스케일 절삭공구 형상 제작
백승엽 ,  장성민 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2014.03 학술저널

초록· 키워드

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A study was carried out to fabricate the cutting tool geometry with micro/nanoscale on the single crystal diamond tool by using the FIB. The FIB technique is an ideal tool for TEM sample preparation that allows for the fabrication of electron-transparent foils. The FIB is appropriate techniques to sample and subsequently define the chemical composition and the structural state of mineral inclusion on the micro/nanoscale. The combination of FIB with a SEM allows for 3D information to be obtained from samples including 3D imaging. Cutting strategies were demonstrated to improve the performance of cutting tool geometry and to generate high aspect ratio micro cutting tool. A finely focused beam of 30keV Ga+ ions was used to mill cutting tool shapes for various micro patterns. Therefore FIB sputtering is used to shape a variety of cutting tools with dimensions in the 1-5㎛range and cutting edge radii of curvature of under 50nm.
#Focused Ion Beam (집속이온빔) #Diamond Tool Geometry (다이아몬드 공구 형상) #High Aspect Ratio (고세장비) #Cutting Edge Width (절삭날 폭)

목차

1. 서론
2. 단결정 다이아몬드 공구 형상
3. 다이아몬드 절삭공구 제작
4. 실험 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (22)

참고문헌 신청
Ivor, I. / 1992 / The Physics of Micro/Nano-fabrication / Plenum Press google schola Kaesmaier, R. / 2000 / Ion Projection Lithography: Progress of European MEDEA &International Program / Microelectron. Eng. 53(1):37~45 google schola Frey, L. / 2003 / Nanoscale Effects in Focused Ion Beam Processing / Appl. Phys. A 76(7):1017~1023 google schola Jackman, R. J. / 1998 / Design and Fabrication of Topologically Complex, Three-Dimensional Micro-Structures / Science 280:2089~2091 google schola Brittain, S. T. / 2001 / Microorigami : Fabrication of Small, Three-Dimensional, Metallic Structures / J. Phys. Chem. B 105(2):347~350 google schola

이 논문의 저자 정보

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집속이온빔을 적용한 나노스케일 단결정 다이아몬드 공구 형상제작 및 백금 코팅 형상에 관한 연구
백승엽 ,  이광호 ,  윤태현 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015 .05
집속이온빔 밀링을 이용한 다이아몬드 절삭공구의 측면 여유각에 관한 연구
백승엽 ,  하태준 ,  최형규 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 .05
다이아몬드 절삭공구 가공을 위한 집속이온빔의 Front Fire Method 와 Back Fire Method 의 비교분석
백승엽 ,  최웅걸 ,  장성민 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015 .12
Pt 코팅 두께에 따른 다이아몬드 절삭공구의 FIB 밀링가공에 관한 연구
백승엽 ,  최웅걸 ,  하태준 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 .10
초미세 패턴 가공을 위한 다이아몬드 절삭공구 개발
백승엽 ,  김창우 ,  최형규 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .05

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2015-550-001293854