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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 추계학술대회 논문집
발행연도
2004.10
수록면
463 - 467 (5page)

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This paper presents the fabrication possibility of the micro actuator which uses a micro-thermal bubble, generated by a micro-heater under pulse heating. The valve-less micropump using the diffuser/nozzle is consists of the lower plate, the middle plate, the upper plate. The lower plate includes the channel and chamber are fabricated on high processability silicon wafer by the DRIE(Deep Reactive Ion Etching) process. The middle plate includes the chamber and diaphragm, and the upper plate is the micro-heater. The Micropump is fabricated by bonding process of the three layer. This paper presented the possibility of the PCR chip operation by the fabricated micropump.
#MicroPump #DNA Chip #PCR Chip #Micro Actuator #Bubble #Heater

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로펌프
3. 마이크로펌프의 제작
4. PCR chip 구동 실험
5. 결과고찰
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