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대한설비공학회 설비공학논문집 설비공학논문집 제19권 제5호
발행연도
2007.5
수록면
411 - 417 (7page)

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This study has been conducted to investigate pumping characteristics of diffuser/nozzle based piezoelectric micropumps. The micropumps include a piezo disk (an actuator), a chamber and a set of diffuser and nozzle. Flow in the current micropumps is controlled by a set of diffuser and nozzle, not by a flap valve. The diffuser/nozzle based micropumps are more reliable in operation and are easier in manufacturing than the flap valve based micropumps. The flow rates of the piezoelectric micropumps have been closely analyzed with a numerical calculation. It has been found that the positions of the inlet and outlet of the micropump can influence the performance of the diffuser/nozzle based piezoelectric micropumps. This study may provide fundamental understanding for the design and analysis of the piezoelectric micropumps.
#Piezoelectic micropump(압전형 마이크로 펌프) #Piezo materials(압전 소자) #Diffuser/Nozzle(디퓨저/노즐) #Membrane(박막)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 문제설정 및 경계조건
3. 수치해석
4. 계산 결과
5. 결론
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