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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
503 - 508 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

양방향 마이크로 펌프의 개발 및 성능에 관한 연구
윤재성 ,  최종원 ,  김민수 대한기계학회 춘추학술대회 2005.11 학술대회자료
밸브 없이 구동되는 양방향 마이크로 펌프의 설계 및 성능에 관한 연구
윤재성 ,  최종원 ,  김민수 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2005.06 학술대회자료

초록· 키워드

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A new valveless micropump for bi-directional application has been developed and tested. The micropump was fabricated by micromachining process. The micropump of this study consists of a membrane actuator, a pumping chamber, fluidic channels and two piezoelectric ceramic films. The channels and pumping chamber were etched on a glass wafer and the membrane was made on a silion wafer which is actuated by a piezoelectric ceramic (PZT) film. The geometry of the micropump was optimized by numerical analysis and the performance of the micropump was investigated by the experiments.
#Micropump(마이크로 펌프) #Piezoelectric ceramic(압전 세라믹) #Valve(밸브) #Oblique channel(경사 채널)

목차

Abstract
1. 서론
2. 설계 및 수치해석
3. 실험장치 및 방법
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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