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이 논문의 연구 히스토리 (19)

2005

극초정밀 다축 스테이지를 이용한 광소자 정렬 특성 향상에 관한 연구 극초정밀 스테이지를 이용한 광소자 정렬 자동화에 관한 연구 극초정밀 위치제어장치를 이용한 광소자 정렬 자동화에 관한 연구 다채널 광소자 정렬 장치의 회전스테이지 구동 메커니즘 연구 광소자 정렬용 극초정밀 다축 위치 조정장치의 운동특성에 관한 연구 극초정밀 다축 위치제어장치의 광소자 정렬 특성에 관한 연구 광소자 정렬용 극초정밀 스테이지의 위치 결정 알고리듬에 관한 연구 광소자 정렬용 다축 회전스테이지 메커니즘 연구 극초정밀 광소자 정렬 스테이지의 운동 메커니즘에 관한 연구 극초정밀 다축 스테이지의 광소자 정렬에 관한 연구 다채널 광정렬 장치에서의 다자유도 회전 스테이지 동작 특성에 관한 연구 초정밀 광소자 정렬 스테이지의 구동 특성에 관한 연구

초록· 키워드

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As optical fiber communication grows, the fiber alignment become the focus of industrial attention. This greatly influence the overall production rates for the opto-electric products. We proposed multi-axis nano positioning stage for optical fiber alignment. This device has 3 DOF translation and sub nanometer resolution. This nano stage consist of 3 PZT-driven flexure stages which are stacked parallel. The displacement of it is measured with capacitance gauge and is controlled by computer-embedded main controller. The design process of flexure stage using FEM is proposed and the performance evaluation of this system is verified with experiments.

목차

Abstract
1. 서론
2. 시스템 구성
3. 성능평가
4. 결론
참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-552-016177384