극초정밀 광소자 정렬 스테이지의 운동 메커니즘에 관한 연구

정상화; 차경래; 김현욱; 최석봉; 김광호; 박준호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정상화 차경래 김현욱 최석봉 김광호 박준호

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2005.6

수록면: 335 - 340 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (19)

2006

극초정밀 다축 스테이지를 이용한 광소자 정렬 자동화에 관한 연구

정상화 , 김광호 한국생산제조학회지 2006.12 학술저널

광소자 정렬용 극초정밀 다축 스테이지의 구동 메커니즘에 관한 연구

정상화 , 김광호 , 차경래 외 2명 한국생산제조학회지 2006.02 학술저널

2005

극초정밀 다축 스테이지를 이용한 광소자 정렬 특성 향상에 관한 연구

정상화 , 차경래 , 김광호 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005.12 학술저널

극초정밀 스테이지를 이용한 광소자 정렬 자동화에 관한 연구

정상화 , 김현욱 , 최석봉 외 2명 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2005.10 학술대회자료

극초정밀 위치제어장치를 이용한 광소자 정렬 자동화에 관한 연구

정상화 , 김현욱 , 최석봉 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

다채널 광소자 정렬 장치의 회전스테이지 구동 메커니즘 연구

정상화 , 차경래 , 김현욱 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

광소자 정렬용 극초정밀 다축 위치 조정장치의 운동특성에 관한 연구

정상화 , 차경래 , 김현욱 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

극초정밀 다축 위치제어장치의 광소자 정렬 특성에 관한 연구

정상화 , 차경래 , 김현욱 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

광소자 정렬용 극초정밀 스테이지의 위치 결정 알고리듬에 관한 연구

정상화 , 차경래 , 김현욱 외 3명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2005.06 학술대회자료

광소자 정렬용 다축 회전스테이지 메커니즘 연구

정상화 , 차경래 , 김현욱 외 3명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2005.06 학술대회자료

극초정밀 광소자 정렬 스테이지의 운동 메커니즘에 관한 연구

정상화 , 차경래 , 김현욱 외 3명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2005.06 학술대회자료

극초정밀 다축 스테이지의 광소자 정렬에 관한 연구

정상화 , 차경래 , 김현욱 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.05 학술대회자료

다채널 광정렬 장치에서의 다자유도 회전 스테이지 동작 특성에 관한 연구

정상화 , 차경래 , 김현욱 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.05 학술대회자료

초정밀 광소자 정렬 스테이지의 구동 특성에 관한 연구

정상화 , 차경래 , 김현욱 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.05 학술대회자료

2004

광소자 정렬용 초정밀 다축 스테이지 개발

정상화 , 이경형 , 김광호 외 4명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

다채널 광정렬 장치에서의 다자유도 회전스테이지 구동 메커니즘 연구

정상화 , 차경래 , 최석봉 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

다채널 광정렬 장치에서의 다자유도 회전 스테이지 동작 특성에 관한 연구

정상화 , 차경래 , 최석봉 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2004.04 학술대회자료

2003

다채널 광정렬 장치 로터리 스테이지 개발에 관한 연구

정상화 , 차경래 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2003.10 학술대회자료

다채널 광정렬 장치 6축 로터리 스테이지 개발 및 동특성 관한 연구

정상화 , 차경래 , 양순호 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2003.10 학술대회자료

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As the optical communication is introduced to the backbone network at first and becomes a general communication method of network, the demand of kernel parts of optical communication such as PLC(Planar Light Circuit), Coupler, and WDM(Wavelength Division Multiplexing) element increases. The alignment and the attachment technology are very important in the fabrication of optical elements. In this paper, the driving mechanism of ultra precision stage is studied with the aim of optimal design of stage. The travel and the resolution of stage are investigated. The hysteresis of the stage is generated because of PZT actuator. The hysteresis and the inverse hysteresis are modeled in X. Y, and Z-axis motion. The input data of desired displacement to the stage according to input voltage is obtained from the inverse hysteresis equation. In the result of experiments with the input data, the errors due to hysteresis are well compensated.

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김현욱

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최석봉

소속기관 한국생산제조학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 31 이용수 1,154

김광호

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박준호

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