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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.6
수록면
2,006 - 2,011 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

CFD 코드를 이용한 고온 엠보싱 나노식각 장비용 열판의 열제어 및 거동 모사
박규진 ,  곽호상 ,  신동원 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.10 학술대회자료
고온 엠보싱 나노식각 장치용 열판의 설계 및 시험
박규진 ,  양진오 ,  곽호상 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.06 학술대회자료

초록· 키워드

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A hot plate device has been developed for hot embossing nanoimprinting machines. Needed for the conventional hot plate are rapid heat-up, high temperature uniformity and precise controllability of temperature. An additional concern particular for hot embossing is rapid cool-down of hot plate, which is essential in demolding process. Analysis of design requirements leads to a 120㎜×120㎜×16㎜ rectangular plate made of Aluminum alloy, which has a series of cartridge heaters and circular holes for gas cooling in parallel. Numerical simulation has been carried out for assessing the feasibility of the proposed design concept. Preliminary experiments have also been conducted to assess heating performance of hot plate. The results of analysis and experiment are discussed in view of transient thermal characteristics of hot plate.
#Hot Embossing(고온 엠보싱) #Hot Plate(열판) #Rapid Heat-up and Cool-down(급속가열과 냉각) #Temperature Uniformity(온도균일도)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3.1. 실험 방법
3.2. 전산해석 모형
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

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