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While the thermoelectric properties as well as the thermal, electric and mechanical properties of bulk Bi-Te and Sb-Te compounds are well known, properties of the thin films of these alloys are still not well defined. This study deals with the characterization of mechanical and electrical properties of Bi₂Te₃ thin films prepared by RF magnetron sputtering. Electrical transport and mechanical properties were measured by a hall effect measurement system and nanoindenter respectively. The thin film properties obtained from this study will be used in the ongoing research for design and development of micro thermoelectric coolers.

목차

Abstract
1. 서론
2. 열전효과의 원리
3. 열전재료 박막공정
4. 열전 박막의 전기적 물성측정
5. 열전 박막의 기계적 물성측정
6. 결론
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