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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제23권 제4호
발행연도
2006.4
수록면
14 - 21 (8page)

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#Micro-ESPI(마이크로 ESPI) #Laser Interferometry(레이저 간섭계) #Micro/Nano-Mechanical Properties(마이크로/나노기계적 성질) #Micro-Tensile Test(마이크로 인장 시험)

목차

1. 서론
2. 마이크로/나노 물성 측정 기법
3. 레이저 간섭에 의한 변형 측정 기법
4. 마일크로 ESPI 시스템
5. 마이크로 인장 물성 측정
6. 결론
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