RF-sputter를 이용하여 그래핀 및 사파이어 기판위에 성장된 GaN 박막의 특성 연구

심성민 ,  이동욱 ,  김은규

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

The influence of LT - GaN buffer layer on the residual stress of GaN film using AlN buffer layer on Si(111) substrate

Sung-Hoon Jung ,  Jeong Wook Lee ,  In-Hwan Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Growth of nitride semiconductors on oxide templates by rf-magnetron sputtering

나현석 ,  정상용 ,  성태연

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

High power impulse magnetron sputtering for obtaining cubic aluminum nitride on aluminum

De-Chiuan LIOU ,  Man-Jia PO ,  Min-Yi CHEN 외 2명

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2016 .08

RF Sputtering으로 증착한 In2O3:C 박막의 구조 전이 연구

김주현 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Annealing Effect on the Structural and Optical Properties of In2S3 Thin Films

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Characteristics of ZnS Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Room Temperature for Buffer Layer Application in Thin Film Solar Cells

김준아 ,  박정환 ,  한태구 외 4명

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2020 .08

Effect of pressure on the chemical composition and structure of carbon nitride film deposited by RF magnetron sputtering

Kimin Roh ,  Byung-Keun Na ,  Si-Kyoung Choi 외 1명

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2007 .08

The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering

신승학 ,  이준형 ,  허영우 외 1명

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2015 .02

RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Annealing 변화에 따른 특성 연구

진창현 ,  김홍배

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2015 .08

Effect of rapid thermal annealing on CdS films prepared by RF magnetron sputtering

황동현 ,  감대웅 ,  안정훈 외 1명

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2010 .02

RF-Magnetron sputtering법을 이용한 ZnO buffer layer가 ZnO:(Al,P) 박막의 미세구조에 미치는 영향

신승학 ,  김종기 ,  이준형 외 2명

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2016 .02

Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Bias effect on the chemical structure and hardness during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering

노기민 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

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2010 .02

Characterization of Al-doped ZnO thin film grown on buffer layer with RF magnetron sputtering method

노영수 ,  이상엽 ,  김태환 외 1명

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2009 .02

Effects of annealing temperature on structural and optical properties of CdS Films prepared by RF magnetron sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Reproducible bias-induced resistance switching in CoO_x thin films prepared by a RF sputtering method

June Sik Kwak ,  Young Ho Do ,  Yoon Cheol Bae 외 1명

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2009 .02

Annealing temperature effect on the SnSe thin film obtained by RF co-sputtering

Donghyun Kim ,  Juyun Pa ,  k 외 4명

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2020 .02

Characteristics of conductive NbTiO_2-x for n-type buffer layer in perovskite solar cells

이재훈 ,  김한기

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2018 .08

The effect of annealing temperature on structural and optical properties of ZnO films deposited by rf magnetron sputtering

G.C. Kim ,  H.H Jeon ,  S.J. Hwangboe 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08