대기압 Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge 형식의 Remote Plasma 를 이용한 Photoresist의 Ashing 에 관한 연구

박재범; 경세진; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박재범 경세진 염근영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 85 - 85 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2007

대기압 Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge 형식의 Remote Plasma 를 이용한 Photoresist의 Ashing 에 관한 연구

박재범 , 경세진 , 염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

Remote Plasma Etching of Photoresist Using Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge

박재범 , 경세진 , 염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료

정형화된 Pin-to-plate 방식의 Dielectric Barrier Discharge에 의해 발생된 대기압 Remote Plasma를 이용한 비정질 Si의 식각

박재범 , 경세진 , 염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

2006

Pin To Plate Dielectric Barrier Discharge 방식의 Remote 대기압 플라즈마를 이용한 비정질 Si 식각

박재범 , 경세진 , 염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006.10 학술대회자료

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논문수 18 이용수 767

경세진

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 12 이용수 343

염근영

소속기관 성균관대학교

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논문수 337 이용수 10,955

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