Pin To Plate Dielectric Barrier Discharge 방식의 Remote 대기압 플라즈마를 이용한 비정질 Si 식각

박재범 ,  경세진 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

대기압 플라즈마 시뮬레이션

이해준

인포메이션 디스플레이

2014 .01

Plasma Etching of SiO₂ Using Remote-type Pin-To Plate Dielectric Barrier Discharge

Jae Beom Pa ,  k ,  Se Jin Kyung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

대기압 플라즈마를 이용한 표면처리 기술 및 응용

전병준 ,  송현직 ,  박원주 외 1명

조명·전기설비

2010 .05

Dielectric Barrier Discharge type 대기압 플라즈마 발생장치를 이용한 SiO₂ 식각에 관한 연구

오종식 ,  박재범 ,  길엘리 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

DBD 대기압 플라즈마 해석에 대한 기초 연구

신명수 ,  김종호 ,  김성영 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

대기압 플라즈마를 이용한 세포 자극연구

권보미 ,  김대연 ,  김단비 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

DC Pulse 전압을 이용한 DBD 대기압 플라즈마의 특성 분석

이종봉 ,  하창승 ,  김동현 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

대기압 플라즈마를 이용한 반도체/디스플레이 부품의 세정기술

조중희

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

IT산업에 적용된 기능성 대기압 플라즈마 표면처리 기술

유효열 ,  유재현

전력전자학회지

2013 .06

평판형 대기압 플라즈마를 이용한 공기정화장치 개발 및 광학적 특성 분석

이영호 ,  최용석 ,  하창승 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .07

흑색종 세포에 대한 플라즈마와 전기장의 효과 연구

손채화 ,  최영욱 ,  정순신 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .10

Remote 플라즈마에서 위치 및 반응기체에 따른 PMMA의 식각 특성 분석

고천광 ,  이원규

화학공학

2006 .01

대기압 플라즈마 공정 기술을 이용한 제염설비 개발

진동식 ,  조천휘 ,  김종화 외 2명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2010 .01

반도체 및 평판 디스플레이 산업에서의 진공 챔버 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 생성 장치

이한용 ,  손정훈 ,  장보은 외 3명

전력전자학회 학술대회 논문집

2017 .07

노출전극 대기압 저온 마이크로 플라즈마의 개발 및 전기광학적 특성

하창승 ,  송인철 ,  임왕선 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

노출전극 대기압 저온 마이크로 플라즈마의 개발 및 전기광학적 특성

하창승 ,  송인철 ,  임왕선 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

대기압 플라즈마용 Plasma-on-a-chip

김영민

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

3D 대기압을 프라즈마와 표면처리

송석균 ,  최복기 ,  강덕원

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

대기압 플라즈마 Plasma-on-chip

김영민

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .10