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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제17권 제4호
발행연도
2007.8
수록면
172 - 177 (6page)

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셀(cell) 단위의 생체분자의 자성특성 검출을 위한 거대자기저항-스핀밸브(giant magnetoresistance-spin valves; GMR-SV) 바이오센서로서 미세 패턴된 모양에 따라 길이 방향과 폭 방향 용이축에 의존하는 자기저항 특성을 연구하였다. 바이오센서(biosensor)로서 사용할 스핀밸브 다층구조는 glass/NiO/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/NiFe 이었다. 자성 다층박막의 일축이방성을 만들기 위해 증착시와 소자 패턴닝 후 진공 열처리를 200 ℃에서 300 Oe 정도 외부자기장을 인가하였다. 형상자기이방성 효과를 고려하여 광 리소그래피 과정으로 얻은 미세 활성영역 패턴 사이즈는 2×5 ㎛²로 정하였다. 2단자법으로 길이방향의 센싱전류와 폭 방향의 고정층의 용이축 방향 각도에 의존하는 자장민감도의 변화는 바이오센서 소자로서 활용에 중요한 요인임을 확인하였다.
#거대자기저항-스핀밸브 #바이오센서 #열처리 효과 #자장민감도 #자성층 용이축 #giant magnetoresistance-spin valve(GMR-SV) #biosensor #post-annealing effect #magnetic sensitivity #magnetic easy axis

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 실험결과 및 분석
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (1)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 2000 / Nature 405 : 39 ~ google schola

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