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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제9권 제1호
발행연도
1999.2
수록면
41 - 47 (7page)

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DC magnetron sputtering 방법으로 Corning glass 기판 위에 기저층을 Cr과 Ta로 바꾸어가면서 보자력이 다른 Ni_(81)Fe_(19)와 CoFe(Co)를 이용하여 buffer/[Ni_(81)Fe_(19)/Cu/CoFe(Co)/Cu]_N의 형태로 spin-valve 다층박막을 제작하여 자기저항비의 기저층 종류와 두께, 비자성층 Cu층 두께, 연자성층 NiFe층 두께, 사이층 박막 반복 적층횟수, 기판온도 및 열처리 온도 의존성을 조사하였다. 제작된 시료의 자기저항비는 4탐침법으로 측정하였으며 이들의 구조, 자기적 성질을 조사하기 위해 X-선 회절분석, 시료진동형 자기계(VSM) 분석을 하였다. Cr 기저층 두께가 50Å, Cu 두께 50Å, NiFe 및 Co 두께가 각각 20Å이며 사이층 박막 반복 적층횟수 10인 경우에 기판온도가 90℃ 일때 극대 자기저항비 및 보자력은 각각 7.5 % 및 140 Oe를 보이다가 기판온도 상승에 따라 감소하였다. 자기장 감응도(MR slope)는 열처리 온도 150 ℃ 까지는 0.25 %/Oe을 유지하다가 200℃에서는 0.03 %/Oe로 감소하였으며 열안정성을 결정하는 주요한 요인은 NiFe 자성층의 연자기 특성 저하라는 것을 확인할 수 있었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험 방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

감사의 글

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-428-015143127