이온빔 보조 마그네트론 스러터링법으로 제작된 Ir계 합금박막의 조성 변화에 따른 기계적 특성 변화 연구

최종원; 김도근; 변응선; 김종국; 이병우

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최종원 김도근 변응선 김종국 이병우

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제32회 학술대회 초록집

발행연도: 2007.2

수록면: 171 - 171 (1page)

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