Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Structural and electronic properties of low dielectric constant SiOC(-H) films deposited by using PECVD from DMDMS/O₂ precursors

Chang Young Kim ,  An Soo Jung ,  R. Navamathavan 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Chemical Bonding Structures of Low-k SiOCH films with HMDSO and O₂ precursors deposited by PECVD

Seung Hyun Kim ,  R. Navamathavan ,  Doo Chul Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성

권영춘 ,  주종량 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Precursor Chemistry for Atomic Layer Deposition

Taek-Mo Chung ,  Chang Gyoun Kim ,  Bo Keun Pa 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Electrical properties of Al/SiOCH/p-Si(100) structure with HMDSO/O₂ precursors deposited by PECVD

Young Jun Jang ,  R. Navamathavan ,  Doo Chul Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Comparison of Cobalt thin films deposited by using two Co precursor In terms of conformality and properties.

이정길 ,  이재갑

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

수도권 초미세먼지 농도모사 : ( I ) 2013 CAPSS 배출량 목록의 전구물질별 기여도 추정

김순태 ,  배창한 ,  김병욱 외 1명

한국대기환경학회지(국문)

2017 .04

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

The RIE resistance and film properties of doped amorphous silicon hardmask deposited by PECVD with disilane as the precursor

Sungwoo LEE ,  Jaeyoung YANG ,  Seokhwan KIM 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Non-invasive method for in vivo detection of chlorophyll precursors

K ,  istiansen ,  Kim Anke 외 10명

Photochemical & photobiological sciences : an international journal

2009 .01

From (Single) Molecular Precursors to Thin Films and Nanomaterials, and back to Surfaces

김윤수

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Development and Application of Group IV Transition Metal Oxide Precursors

Da Hye Kim ,  Bo Keun Pa ,  k 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Controlled growth of atomic layer deposited Molybdenum based thin film using a novel nitrogen and sulfur containing precursor

Yujin JANG ,  Mi ,  ang BYEON 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

반도체용 Precursor의 분해 모니터링 연구

허수원 ,  송호준 ,  윤주영 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Tin and Germanium Complexes as Precursors for Thin Film Transistors

이가연 ,  한성호 ,  정택모

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Yield enhancement of matrix precursor in short carbon fiber reinforced randomly oriented carbon/carbon composite

Raunija ,  Thaku ,  Sudesh Kuma 외 8명

Carbon letters

2016 .01

Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성

권영춘 ,  주종량 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07