플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

신경망을 이용한 오래된 필름에서의 스크래치 검출

김경태 ,  김은이

한국정보과학회 학술발표논문집

2005 .11

알칼리성 슬러리를 이용한 단결정 및 다결정 실리콘의 화학적 기계적 연마 특성 평가

김혁민 ,  권태영 ,  조병준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

나노스크래치 공정에서 단결정 실리콘 및 파이렉스 7740 의 나노변형거동

신용래 ,  윤성원 ,  강충길

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2003 .10

스크래치 기공기술 개발을 위한 진동 성분 분석에 관한 연구

전찬대 ,  차진훈 ,  윤신일 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

MEMS 응용을 위한 Ar⁺ 이온 레이저에 의한 단결정/다결정 실리콘 식각 특성

李賢基 ,  韓承㞰 ,  朴政浩 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .05

MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성

백정호 ,  박준식 ,  이혜진 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

신경망과 모폴로지 필터를 이용한 스크래치 검출

김경태 ,  김은이

한국정보과학회 학술발표논문집

2006 .06

마이크로-광스위치 제작을 위한 다결정실리콘 식각 공정의 최적화

조수범 ,  이경철 ,  이민우 외 6명

한국통신학회 기타 간행물

2002 .10

공간적인 정보 기반의 디지털 필름 스크래치 복원

김경태 ,  고은정 ,  김은이

한국정보과학회 학술발표논문집

2007 .06

스크래치 시험을 통한 접합력 측정

이창면 ,  허진영 ,  이홍기

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

마이크로/나노 실리콘 구조물 제작 공정 및 전사 공정

최대근 ,  김한중

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

스크래치 특성의 정량적 분석 및 고분자 소재의 적용

원종일

고분자 과학과 기술

2009 .06