레이저 국소증착을 이용한 미세 회로수정 패턴 제조

박종복 ,  정성호 ,  김창재

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2004 .01

레이저 국소증착을 이용한 TFT-LCD 회로 수정용 미세 텅스텐 패턴 제조

박종복 ,  김창재 ,  박상혁 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2005 .08

레이저 국소증착을 통한 미세 탄소구조물 및 패턴 제조

정성호 ,  김진범 ,  이선규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

레이저 국소증착에 의한 탄소 미세 구조물 제조

한성일 ,  김진범 ,  정성호

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2002 .01

레이저 국소증착법에 의한 탄소 미세 구조물의 제조시 성장특성에 관한 연구

김진범 ,  이선규 ,  이종현 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2002 .07

레이저 증착에 의한 미세 패턴 형성

김창재 ,  이재영 ,  송민규 외 2명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2006 .01

레이저 국소증착에 의한 탄소나노튜브 직접묘화

박종복 ,  정문석 ,  정성호

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

수정된 화학증착방법의 모델링과 실헙적 연구 ( Experimental and Modelling Study of the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  조재걸 ,  최만수

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1996 .01

수정된 화학증착방법의 모델링과 실험적 연구 ( Experimental and Modelling Study of the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  조재걸 ,  최만수

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

사일린 환원반응에 의한 텅스텐 박막의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten by Silane Reduction )

황성보 ,  최경근 ,  이시우

전자공학회논문지

1990 .10

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition During Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

광섬유 제조 Outside Vapor Deposition 공정에 관한 증착성능 연구 ( A Study of Particle Deposition during Outside Vapor Deposition Process )

송영휘 ,  최만수 ,  강신형

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1993 .01

고집적회로 금속선 형성을 위한 화학증착 알루미늄의 선택적 증착 ( Selective chemical vapor deposition of aluminum for the metallization of high level IC )

이경일 ,  김영성 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1994 .12

TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )

이청 ,  이시우 ,  이건홍

전자공학회논문지-A

1992 .04

레이저 국소증착의 마이크로 및 나노구조물 제조 응용

정성호 ,  박종복 ,  정문석

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .11

수정된 화학증착 공정에서의 입자역학에 관한 연구 ( Aerosol Dynamics in the Modified Chemical Vapor Deposition )

박경순 ,  최만수

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

펄스레이저를 이용한 박막 증착

김호성

전기의세계

1993 .06