대면적 미세형상의 측정/검사 기술

김승우; 김영식; 오정석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김승우 김영식 오정석

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2004.10

수록면: 3 - 3 (1page)

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#대면적 미세 형상 #다층 박막 #백색광 #펨토초 레이저 #광분산 간섭계 #다중채널 모아레

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