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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 스테이지의 운동 오차 측정 및 보상 원리
3. 확장 트와이만-그린 간섭계를 이용한 5축 운동 오차의 측정
4. 실험장치 구성 및 결과
5. 결론
후기
참고문헌
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광위상 간섭을 이용한 기게 이송축의 운동오차 측정 및 실시간 보상
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1993 .05
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2019 .11
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2008 .11
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한국항공우주학회지
1986 .08
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2011 .10
펨토초 레이저를 이용한 형상 측정용 비동일 광경로 저결 맞음 간섭계
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
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광간섭계를 이용한 대형유리기판의 고속 두께 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
효율적인 이동보상 알고리즘에 관한 연구 ( A Study on The Efficient Motion Compensation Algorithm )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
위상천이 간섭계를 이용한 3차원 변위 측정
한국통신학회 기타 간행물
2002 .10
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