펨토초 레이저를 이용한 형상 측정용 비동일 광경로 저결 맞음 간섭계

오정석; 김승우

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자료유형: 학술저널

저자정보: 오정석 김승우

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.23 No.9

발행연도: 2006.9

수록면: 102 - 110 (9page)

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2006

펨토초 레이저를 이용한 형상 측정용 비동일 광경로 저결 맞음 간섭계

오정석 , 김승우 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006.09 학술저널

2005

펨토초 레이저를 이용한 비동일 광경로 저결맞음 간섭계

오정석 , 김승우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

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We discuss two possibilities of using femtosecond pulse lasers as a new interferometric light source for enhanced precision surface-profile metrology. First, a train of ultra-fast laser pulses yields repeated low temporal coherence, which allows unequal-path scanning interferometry, which is not feasible with white light. Second, the high spatial coherence of femtosecond pulse lasers enables large-sized optics to be tested in non symmetric configurations with relatively small-sized reference surfaces. These two advantages are verified experimentally using Fizeau and Twyman-Green type scanning interferometers.

#Femtosecond laser(펨토초 레이저) #Low-coherence interferometry(저결맞음 간섭계) #Scanning interferometry(주사간섭계) #Envelope peak(가시도정점) #Fringe peak(위상정점)

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