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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. ER 유체
3. 가공 구조
4. 가공변수에 대한 고찰
5. 연마 결과
6. 결론
후기
참고문헌
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ER 유체를 이용한 미세 3 차원 형상의 초정밀연마
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .12
단결정 실리콘의 초정밀가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .10
Magnetic field effect analysis on a single silicon crystal system
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .07
연마입자의 전기적 분극성을 이용한 초정밀연마기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .10
초정밀 절삭 기구의 유체역학적 해석 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
단결정 실리콘의 3차원 미세패턴 가공 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1996 .06
실리콘 웨이퍼의 초정밀 절단가공에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
1999 .10
실리콘 웨이퍼의 초정밀 절단가공에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .06
저가 , 고효율 단결정 실리콘 태양전지의 제조 ( Fabrication of Low cost , High Efficiency Single Crystal Silicon Solar Cells )
전자공학회논문지-A
1994 .07
BaTiO3 단결정을 이용한 광 논리 처리기에 관한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .11
ER유체를 이용한 미세 연마 가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .10
실리콘 웨이퍼 연마에서 패드 열화 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
단결정 실리콘의 이방성 식각특성
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
알칼리성 슬러리를 이용한 단결정 및 다결정 실리콘의 화학적 기계적 연마 특성 평가
한국재료학회 학술발표대회
2011 .01
초정밀 위치결정 기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .12
AE신호를 이용한 자동 연마가공에서의 연마면 상태감시
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2000 .04
Effect of alkyl-substituted copolymer on polyaniline based electrorheolgical fluid
한국유변학회 학술발표회
2006 .01
단결정 실리콘 박막의 대면적 전사공정에서 파손 기작에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2011 .04
자유곡면 연마를 위한 자동 연마 시스템 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2001 .04
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