투명전도성 박막기술과 특성평가

윤한기; Ri-ichi Murakami

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 윤한기 (동의대학교) Ri-ichi Murakami

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2006.6

수록면: 1 - 6 (6page)

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The development of electromagnetic wave shielding materials are strongly required because the malfunction of electronic equipment, mobile phone and EMI. ITO and IZO films of transparent conducting thin films were produced onto plastic and glass substrates at room temperature by the inclination opposite target type DC magnetron equipment, which a metallic In2O3＋SnO2 and In2O3＋ZnO alloy target was used. The effects of electric properties, electromagnetic wave shielding effectiveness, gas barrier deposited SiO and SiON were investigated. In the result, the ITO thin films deposited at room temperature showed the most electromagnetic shielding effectiveness and we found that effect of the gas barrier deposited SiO and SiON in IZO thin film is very important parameter.

#ITO and IZO thin film(ITO, IZO 박막) #Electric properties(전기적 성질) #Mechanical properties(기계적 성질)

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