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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
2,239 - 2,242 (4page)

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In this research, a polycrystalline silicon (poly-Si) film layer for micro thermoelectric generator (TEG) was fabricated. The fabrication process of the thermoelectric poly-Si film layer is explained. The P-type and N-type poly-Si films were fabricated on a tetra ethoxy silane (TEOS) layer with a supporting Si wafer. Seebeck coefficient and electrical conductivity were measured, including the transport properties such as the hall coefficient, hall mobility and carrier concentration. The design parameters for a rapid thermal process (RTP) were decided based on the experimental results. The measured power factors of the P-type and N-type were 21.2 ㎼m?¹K?² and 26.7 ㎼m?¹K?², respectively.
#Micro thermoelectric generator(마이크로 열전발전기) #Poly-Si film(다결정실리콘 박막) #Rapid Thermal Process(급속 열처리 공정)

목차

Abstract
1. 서론
2. 열전박막 제작
3. 실험
4. 결론
후기
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