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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
495 - 496 (2page)

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Electrostatically actuated nanoscale tweezers are fabricated on micro processed electrodes using FIB-CVD. Heavily doped electrode works as interconnection platform for controlling nanoscale devices. Short bent pillars are deposited to control the gap distance of main tweezers fabricated on bent ones. Two types of tweezers which have different gap distances are fabricated and tweez ... 전체 초록 보기
#Nano tweezer(나노트위저) #Nano manipulation(나노조작) #Focused Ion Beam(집속이온빔)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 나노트위저의 제작 및 실험결과
3. 결론
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