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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
493 - 494 (2page)

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SU-8 can be implemented as a mask for micro Abrasive Jet Machining (micro-AJM) process [1]. In this paper, we will evaluate the quality of micro grooving result on glass substrate by micro-AJM process which using SU-8 as a mask. It was evaluated on width and edge profile of the micro groov ... 전체 초록 보기
#micro grooving(미세홈 가공) #micro-AJM(미세 입자분사가공) #SU-8 mask(SU-8 마스크)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
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