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이용수
2007
1. 서론
2. 쾌속 마스크 제작공정
3. 마스크 제작
4. 결론
후기
참고문헌
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375nm 반도체 UV레이저를 이용한 미세 입자분사가공 SU-8 마스크의 제작
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2007 .06
SU-8 마스크를 이용한 유리의 입자분사 미세가공 정밀도 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
미세입자 분사가공을 위한 쾌속 마스크 제작기술의 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2008 .01
미세입자 분사가공에서 SU-8 마스크의 특성
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2007 .01
비평면 입자분사 가공을 위한 마스크의 제작
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2012 .05
미세입자 분사가공 비 평면 마스크의 제작에 관한 연구
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2009 .10
마이크로 연마제트 가공을 위한 비트맵 마스크 모델링
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2010 .05
마이크로 마스크를 가진 미세입자분사가공을 위한 가공경로의 생성
한국기계가공학회지
2011 .12
미세입자 분사가공을 위한 3 차원 임의형상 모재용 마스크 모델링
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2010 .08
미세입자분사 가공에서 Photoresist를 이용한 마스크의 가공특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
Micro Abrasive Jet Machining 을 이용한 유리의 미세 홈 가공
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2001 .10
고정 마스크에 의한 레이저 미세패터닝 쾌속 제작기술 연구
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2005 .01
ɥAJM 마스크의 제작에 노출시간변화기법 적용
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
Su-8 박막의 기계적 물성의 크기 효과
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .06
미세 홈 형성을 위한 마이크로 가공기술에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .10
Micro-EDM 가공에서 Micro-Spot 이용한 표면 형상의 예측 모델에 관한 연구
한국CDE학회 학술발표회 논문집
2011 .01
나노압입시험기를 이용한 MEMS 공정조건에 따른 SU-8 감광제의 기계적 물성 측정
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
마이크로 전극 제작 및 미세 홀 가공
한국금형공학회 학술대회
2008 .01
미세 기계가공시스템 개발 및 응용 가공기술 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2003 .05
초소형 부품 제작을 위한 미세 가공 기술 개발
한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집
2002 .05
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