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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 미소이송장치 용 마이크로 스테이지 시스템
3. 이중서보 제어 루프 알고리즘
4. 시스템의 위치결정 정밀도 향상을 위한 디지털 필터의 구현
5. 결론
후기
참고문헌
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이중서보제어루프를 통한 서보모터-압전구동기의 초정밀위치결정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1997 .11
이중서보제어루프와 ChebyShev 필터를 이용한 반도체 장비용 초정밀 위치결정기술개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
초정밀 위치결정을 위한 이중서보제어용 미세구동 메카니즘 ( A Fine Motion Mechanism of Dual Servo Control for Ultraprecision Positioning )
대한기계학회 논문집
1995 .11
볼스크류-압전소자 구동기와 3자유도 이중서보제어기술을 이용한 초정밀 위치결정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
DC Servo Motor를 이용한 초정밀 위치결정기구의 컴퓨터 시뮬레이션 및 제어성능 평가
한국공작기계학회지
2000 .10
Design and Implementation of a High Precision Servo System
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1990 .10
Design and Implementation of a High Precision Servo System
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
Piezo Actuator를 이용한 초정밀 위치결정기구의 Computer Simulation 및 제어 성능평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .10
초정밀 위치 결정 시스템
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
서보모터를 이용한 점대점 위치제어에서의 최적구동형상 및 서보모터 선정 ( Optimum Motion Profile and Servo Motor Selection for Point-To-Point Control Using Servo Motors )
대한기계학회 춘추학술대회
1990 .01
선형 서보 액추에이터와 서보모터를 이용한 2족 보행 로봇
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .11
공압 Servo Actuator 기술개발 및 동향
기계와 재료
2000 .01
Fast Tool Servo를 이용한 초정밀가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
리니어모터 및 압전구동기를 이용한 이중서보의 구현
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .11
리니어모터 및 압전구동기를 이용한 이중서보의 구현
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .11
듀얼서보 적용 초정밀 절삭가공에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
Fine Servo System 적용 초정밀 절삭가공에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
초정밀 위치 구동을 위한 압전구동기의 히스테리시스 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
지식기반 자율제어형 초정밀 디지털 서보프레스 시스템
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .04
서보모터를 이용한 고효율 증강구조형 서보프레스 테스트벤치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
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