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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 98年度 春季學術大會 論文集(Ⅱ)
발행연도
1998.5
수록면
874 - 878 (5page)

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1999

이중서보제어루프와 디지털 필터를 통한 서보모터-압전구동기의 초정밀위치결정 시스템 개발
이동성 ,  박종호 ,  박희재 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 1999.03 학술저널

1998

이중서보제어루프와 ChebyShev 필터를 이용한 반도체 장비용 초정밀 위치결정기술개발
이동성 ,  박희재 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 1998.05 학술대회자료

1997

이중서보제어루프를 통한 서보모터-압전구동기의 초정밀위치결정 시스템 개발
이동성 ,  박종호 ,  박희재 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 1997.11 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 미소이송장치용 마이크로 스테이지 시스템 구성
3. 이중서보 제어 루프 알고리즘
4. 위치결정 정밀도 향상을 위한 디지털필터의 구현
5. 결론
6. 참고문헌

참고문헌 (0)

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