미세입자 분사 가공에서 2 차 충돌의 영향

이재민; 박영우; 고태조

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이재민 박영우 고태조

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2005.10

수록면: 497 - 500 (4page)

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Abrasive Jet Micromachining (AJM) is a process that uses high pressure air with micron-sized particles to erode a substrate. It has been considered as the most economic and appropriate technique to pattern glass surfaces for the flat panel applications. To accelerate the industrialization of AJM, it is necessary to understand the erosion mechanisms thoroughly. Thus, this paper introduces a new method to model the erosion mechanism in AJM. The model is developed by using the concept of the accumulation of the microdeformation caused by each particle. And this paper proposes the model added the effects of second impact. The developed model is used to simulate the erosion profile, and is compared with the model considered only first impact. It can be concluded that the proposed model predicts the erosion profile more accurately.

#Abrasive Jet Micromachining(미세입자 분사 가공) #Erosion Profile(마모 형상) #Micro-deformation(미소변형) #Second Impact(2 차 충돌)

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