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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
149 - 152 (4page)

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A new method to fabricate metal electrodes on side wall of the microchannel is presented. Coulter counter allows to count the number of cell passing through the microchannel by detecting impedance variation between two electrodes. The relative position of two electrodes is important for sensitivity of impedance measurement. 100nm thick Al electrodes are deposited on the channel side wall by means of shadow evaporation.
#Stencil(스텐실) #microchannel(마이크로채널) #shadow effect(샤도우효과) #electrode(전극)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 원리
3. 제작
4. 결론
참고문헌

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