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A new method to fabricate metal electrodes on side wall of the microchannel is presented. Electrical signal can be measured by the metal electrodes on channel side wall when microparticles pass through a polymer microchannel. 3 dimensional metal electrodes on channel side wall could be fabricated by local deposition of metal through a shadowmask and inclined evaporation. The polymer microchannel with side wall electrodes could be precisely aligned onto metal contact patterns on pyrex glass. The impedance measurement test showed possibility of electrical signal measurement using the fabricated device.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 원리
3. 제작
4. 임피던스 측정 테스트
5. 결론
후기
참고문헌
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[학술지(정기간행물)] - / 2001.12 / Quantitative sensing of nanoscale colloids using a microchip coulter counter 72 (12) : 4449 ~ 4451
[학술지(정기간행물)] - / 1999. / Design and fabrication of a micromachined coulter counter 9 : 159 ~ 161
[학술지(정기간행물)] - / 2001. / Micromachined impedance spectroscopy flow cytometer for cell analysis and particle sizing 1 : 76 ~ 82
[학술지(정기간행물)] - / 2003. / Fabrication and applicaton of a full wafer size micro/nanostencil for multiple length-scale surface patterning 67-68 : 609 ~ 614
[학술지(정기간행물)] - / 1999. / Design and fabrication of a micromachined coulter counter 9 : 159 ~ 161
[학술지(정기간행물)] - / 2001. / Micromachined impedance spectroscopy flow cytometer for cell analysis and particle sizing 1 : 76 ~ 82
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