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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
124 - 128 (5page)

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2005

MEMS 부품을 위한 다결정 박막의 탄성 물성치 추출 시스템과 적용
정향남 ,  최재환 ,  정희택 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005.12 학술저널

2004

MEMS 부품을 위한 다결정 박막의 탄성 물성치 추출 시스템의 매개변수의 영향
정향남 ,  최재환 ,  정희택 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

초록· 키워드

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A numerical system to extract effective elastic properties of polycrystalline thin-films for MEMS devices is already developed. In this system, the statistical model based on lattice system is used for modeling the microstructure evolution simulation and the key kinetics parameters of given micrograph, grain distributions and deposition process can be extracted by inverse method proposed in the system. In this work, the effects of kinetics parameters on the extraction of effective elastic properties of polycrystalline thin-films are studied by using statistical method. The effects of the fraction of the potential site( P<SUB>f</SUB>) and the nucleation probability( N<SUB>p</SUB>) among the parameters for deposition process of microstructure on the extraction of effective elastic properties of polycrystalline thin-films are studied.
#MEMS #Polycrystalline thin-film(다결정 박막) #Monte-Carlo method(몬테카를로 법) #Elasticity(탄성) #Property(물성치) #Microstructure(미세구조)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 시스템의 소개
3. 매개변수의 영향
4. 결론
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