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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.10
수록면
117 - 118 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

자외선 피코초 레이저를 이용한 Low-k 웨이퍼 인그레이빙 특성에 관한 연구
문성욱 ,  배한성 ,  홍윤석 외 2명 반도체및디스플레이장비학회지 2007.01 학술저널

2006

UV pico-second 레이저를 이용한 low-k 웨이퍼 인그레이빙 특성 연구
문성욱 ,  배한성 ,  홍윤석 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.10 학술대회자료

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#pico-second laser #UV laser #low-k wafer #laser engraving

목차

1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 실험 결과
4. 결론
후기
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레이저 가공과 전해 에칭을 이용한 미세 핀 배열의 가공 및 응용
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