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대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제31권 제5호
발행연도
2007.5
수록면
457 - 466 (10page)

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A numerical and experimental study on the evaluation and the prediction of cleanliness level in the mini-environment system was carried out. Using the concept of local mean air-age (LMA) and effective flow rate, the new direct method for estimating the mini-environment was developed and compared with the previous performance index of airflow pattern characteristics. It was found out that the airflow pattern analysis is a restricted method to estimate the real performance of the mini-environment. The reason is that the airflow pattern cannot predict the effect of the increment of the ventilation rate on the cleanliness level in the mini-environment. While LMA is capable of showing the effects of the contaminant accumulation caused by turbulent intensity, eddy, and the increment of the effective flow rate. This result showed that LMA is more exact and effective performance index than the previous one like the airflow pattern characteristics.
#Cleanliness Level(청정도) #Cleanroom(클린룸) #Contamination Control(오염제어) #Local Mean Air-Age(국소평균공기연령) #Mini-Environment System(국소환경시스템)

목차

Abstract
1. 서론
2. 국소환경시스템 평가방법
3. 연구 모델
4. 연구방법
5. 결과 및 고찰
6. 결론
참고문헌

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
Oh, M. D., 2002, “A Trend of GIGA Level Cleanroom Technology,” International Symposium on Clean Technology and Management for Indoor Air, Korea Air Cleaning Association, pp. 17～62. google schola Schliesser, J. and Staudt-Fischbach, P., 1999, “Minienvironments and Thermal Effects,” IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, IEEE, pp.432～439. google schola Kobayashi, Y., Kobayashi, S., Tokunaga, K., Kato, K., and Minami, T., 2000, “Particle Characteristics of 300-mm Minienvironment (FOUP and LPU),” IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, IEEE, Vol. 13, No. 3, pp. 259~263. google schola Zhu, S. B. 2002, “Study of Airborne Molecular Contamination in Minienvironments,” IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, IEEE, pp. 309~313. google schola Shiu, H. R., Huang, H. Y., Chen, S. L., and Ke, M. T., 2003, “Numerical Simulation for Air Flow in Mini-Environment and SMIF Enclosure,” IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, IEEE, Vol. 16, No. 1, pp. 60~67. google schola

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