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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 139 - 144 (6page)
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This paper presents development of carbon nanotube (CNT) tip modified by focused ion beam (FIB) and experimental results in non-contact mode of atomic force microscopy (AFM) using fabricated tip. We used an electric field which causes dielectrophoresis, to align and deposit CNTs on a conventional silicon tip. The morphology of the fabricated CNT tip was then modified into a desired shape using focused ion beam. We measured anodic aluminum oxide sample and trench structure to estimate the performance of FIB-modified tip and compared with those of conventional Si tip. We demonstrate that FIB modified tip in non contact mode had superior characteristics than conventional tip in the respects of wear, image resolution and sidewall measurement.
목차
Abstract
1. 서론
2. 탄소나노튜브 팁의 제작
3. 집속 이온빔을 이용한 탄소나노튜브 팁의 조작
4. 결론
후기
참고문헌
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Iijima, S., 1991, “Helical Microtubules of Graphitic Carbon,” Nature, Vol. 354, p. 56.
Kong, J., Franklin, N. R., Zhou, C., Chapline M. G., Peng, S., Cho, K. and Dai, H., 2000, “Nanotube Molecular Wires as Chemical Sensors,” Science, Vol. 287, pp. 622~625.
Bachtold, A., Hadley, P., Nakanishi, T. and Dekker, C., 2001, “Logic Circuits with Carbon Nanotube Transistors,” Science, Vol. 294, pp. 1317~1320.
Martel, R., Schmidt, T., Shea, H. R., Hertel, T. and Avouris, P., 1998, “Single- and Multi-Wall Carbon Nanotube Field Effect Transistors,” Appl. Phys. Lett., Vol. 73, pp. 2447~2449.
Stevens, R. M., Frederick, N. A., Smith, B. L., Morse, D. E., Stucky, G. D. and Hansma, P. K., 2000, “Carbon Nanotubes as Probes for Atomic Force Microscopy,” Nanotechnology, Vol. 11, pp. 1~5.
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