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강렬한 상대론적 전자빔의 에너지 분포측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
강렬한 상대론적 전자빔의 에너지 분포측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
유도 결합형 플라즈마내의 이온 존재비율 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
레이저 기반 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
2.45 ㎓ ECR 이온원 플라즈마 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
강렬한 상대론적 전자빔을 이용한 동축 가상음극 발진기의 다이오드 설계에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
RF 안테나 주파수에 따른 유도결합형 수소 플라즈마 이온원의 수소 이온 밀도 분율 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
정전 탐침을 이용한 산소 플라즈마의 음이온 발생 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Sub - Torr 압력의 중성기체속을 전파하는 상대론적 전자빔의 수송효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
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