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논문 기본 정보
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- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2005.10
- 수록면
- 491 - 494 (4page)
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On an event of abnormal behavior of sensor signals, FDC (Fault Detection and Classification) system fires an alarm to prohibit further processing of potential bad wafers. A typical semiconductor FAB is composed of hundreds of equipments, each of which holds hundreds of sensors to be monitored. Thus a FDC system monitors more than tens of thousand sensors each second. Since the normal operation range of sensor signals changes over time, adjusting their normal range settings manually is practically impossible. In addition to that, it is inadequate to assume that the sensor signals follow normal distribution function, since the distribution function of sensor signals is asymmetric in nature. In this paper, We present how to automate the adjustment of normal range of asymmetric sensor signals over time using an upper/lower data separation method.
목차
Abstract
1. 서론
2. 관련 연구
3. 인터락 범위 계산의 문제점
4. 인터락 범위 계산 방법 제안
5. 구현 및 실험결과
6. 결론
참고문헌
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