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??RF magnetron reactive sputtering법으로 CoFeHfO 박막을 상온에서 제작하여 산소분압에 따른 포화자화, 보자력, 이방성자계를 조사하였다. 최적조건인 산소분압 8 %에서 제조한 Co<SUB>39</SUB>Fe<SUB>34</SUB>Hf<SUB>9.5</SUB>O<SUB>17.5</SUB> 박막은 포화자속밀도(4πM<SUB>s</SUB>) 19 kG, 보자력(Hc) 0.37 Oe, 이방성자계(H<SUB>k</SUB>) 48.62 Oe의 우수한 연자성을 나타내었다. CoFeHfO 박막의 전기비저항은 산소분압이 늘어남에 따라 증가하는 경향을 나타내었으며 우수한 연자기적 성질을 가지는 Co<SUB>39</SUB>Fe<SUB>34</SUB>Hf<SUB>9.5</SUB>O<SUB>17.5</SUB> 박막의 경우, 300 μΩcm의 높은 전기비저항과 48.62 Oe의 높은 이방성자계 때문에??Co<SUB>39</SUB>Fe<SUB>34</SUB>Hf<SUB>9.5</SUB>O<SUB>17.5</SUB> 박막이 고주파에서 우수한 연자기 특성을 가지는 것으로 사료된다.
목차
한국어 초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 실험 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
영어 초록
참고문헌 (0)
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